超純水設備的設備組成和它的處理工藝有一定的關系，分成預處理，反滲透處理技術，超純化處理和后級處理這幾種。因此 超純水設備通常由預處理部分，反滲透主機，后處理部分三大部分組成

一：預處理部分

超純水設備中的預處理部分是由石英砂過濾器，活性炭，精密過濾裝置，自動控制閥門，全自動軟水器，軟水處理控制裝置，軟水進出液壓閥，壓力測試儀等構成，這類配件的單個成本價格都比較高，它可以有效的處理水中的大顆粒的金屬雜質，膠體物質，微型塑料顆粒，鐵銹，泥沙，有機生物，去除水中的雜色和異味。

二：反滲透主機

反滲透的主機包括高壓泵，膜殼，反滲透膜，在線壓力測試儀器，在線儀表，控制電氣機，控制元件芯片，液壓閥門等組成，只有當反滲透的數量和要求達到水處理的要求后，反滲透諸暨的脫鹽率和凈水量都能夠遠遠的超過預期的標準，進一步的去除水中的各樣雜質，小顆粒的物質都可以被其處理。

三：后處理部分

后處理部分是在反滲透處理工藝后面，進行進一步深化處理提取超純水的一個部分，通常是離子交換混合設備和EDI設備，工業超純水設備的后處理部分處理完成后，水質中的雜質和各類的微量元素基本上為零。